香港葵涌货柜码头,六号泊位保税查验平台。
金红色的朝阳跃出海平面,将整座维多利亚港染上一层耀眼的粼粼波光,海风拂去刺鼻的硝烟与铁锈味,带走通宵鏖战的阴霾。
“加压液压扳手就位,准备旋开主密封锁栓!”工程技师高声呼喊。
咔哒!
“一组脱开!”技师大声报告。
十二根粗壮的重型合金锁栓在扳手驱动下缓缓退位。
“二组压力平衡正常,开始泄压!”
伴随着一声沉闷的气密泄压声,厚重的特种恒温冷链箱门缓缓敞开。
呼!
一股纯净干燥的低温白雾自柜内无声翻涌而出。
“压差表指示一点零五标准大气压,柜内相对湿度零点三,完全达标!”
麦佳佳捧着手持检测仪快步上前:“防震液压支架锁定正常,铅封完好!”
“气垫隔振系统主动磁悬浮气阀自检通过,环境微振控制在纳米级!”技师汇报。
“自检正常!”
随行电气工程师兴奋通报:“双频激光干涉仪测量镜片无位移偏差!”
众人屏息凝神,目光齐刷刷投向集装箱核心深处。
两台银灰色的巨型步进式光刻机,稳稳扎根在重型花岗岩隔振平台上,这是目前世界上极其先进的微电子光刻工业母机,可支撑九十纳米量产攻坚!
“开启!”
“张总,物镜防辐射铅封锁扣已开启!”主检工程师肃容请示。
“开箱验视。”
张红旗沉稳下令。
厚重的特种铅盒锁扣缓缓弹开。
晨光穿透薄雾,斜斜洒落在核心光学组件上,那一整套双曲面浸润式深紫外物镜总成,在朝阳下折射出瑰丽深邃的幽蓝光晕!
“太美了……”
麦佳佳忍不住轻声赞叹,眼眶发红。
“蔡司原厂深紫外物镜,全组双曲面透镜表面镀膜完整,没有任何热应力损伤!”随行光学专家举着放大镜高呼,“光学指标完美!”
“光瞳照明系统高纯反射镜无任何颗粒附着!”技术员大声补充。
“完好无损!”
徐德胜靠在旁边咧嘴大笑:“两台机器,一根光纤都没损毁!”
张红旗面容肃穆,从怀中掏出加密卫星终端,拨通了燕山半导体基地的保密专线。
“张总工,听得清吗?我是张红旗。”
“红旗!我们在燕山通宵守着监测大屏呢!”电话那头,老总工张怀远的声音沙哑发颤:“机器……机器和物镜怎么样了?”
“接通音频。”
麦佳佳立刻将数据采集插头接入卫星终端的数据传输端口。
机身内置的微波干涉仪与高精激光测距仪立刻传出一连串清脆悦耳的蜂鸣。
嘀!嘀!嘀!
“干涉条纹完全重合!微米级光学校准偏差为零!”
听筒那端突然爆发出一片压抑已久的痛哭与狂欢!
数十名白发苍苍的老工程师拍打着控制台,激动得泣不成声:“保住了!整整三十年啊,咱们终于能摸到深紫外步进光刻机的真家伙了!”
老工程师们抹着眼泪喊道:“当年在老厂靠放大镜手工刻版,做梦都不敢想这一天!”
“有了这两台宝贝,咱们研发的光刻胶再也不用千里迢迢送去欧洲代测了,试错闭环就在自家院子里!”
张怀远在电话里老泪纵横:“红旗,国家和工业界……谢谢你们!”
“老总工,机器毫发无损地保下来了。”
张红旗语气沉稳如山:“三个月内,咱们燕山的太行01号光刻胶,就在这两台机器上正式流片!”
“好!”